结论与建议：
尽管由于研发强度提升以及非经收益减少导致公司1Q24净利润下降，但从营收端来看，刻蚀设备业务增速仍然迅猛，1Q24公司营收创历史同期新高，长期向好趋势不变。【】
展望未来，作为本土半导体核心设备的龙头企业，公司立足于刻蚀设备以及MOCVD设备市场，同时布局沉积设备领域，近两年新开发的LPCVD设备和ALD设备，已有多款设备已获得客户重复性订单，新业务拓展顺利，将成为未来业绩新的增长点。（）从估值来看，公司2024年PS约10倍，维持买进建议。
1Q24营收创历史同期新高：1Q24公司实现营收16.1亿元,YOY增长31.2%，创历史同期新高;实现净利润2.5亿元,YOY下降9.5%,扣非后净利润增长15%至2.6元，EPS0.4元。由于非经常性受益较上年同期下降（公允价值下降0.6亿元，政府补贴减少0.2亿元），导致公司当期净利润同比下降，但公司主业向好趋势未变。1Q24公司刻蚀设备实现收入13.4亿元，较上年同期增长约64%，刻蚀设备占营业收入的比重由上年同期的67%提升至83%。同时，1Q24末公司发出商品余额19.2亿元，较上年末增加121%，为后续公司收入快速增长实现打下良好基础。1Q24公司研发投入3.6亿元，YOY增长约62.4%。其中，研发费用化部分同比增长63%至2.1亿元，研发费用率13.3%，较上年同期提高了2.6个百分点，研发强度进一步提升。
盈利预测：公司积极布局沉积设备领域，未来有望形成新的业绩增长点。与此同时，公司南昌、临港生产基地已投入使用，为后续业绩增长提供保障，预计公司2024-26年实现净利润19.7亿元、24.9亿元和29.4亿元，YOY分别增长10%、26%和18%，EPS分别为3.19元、4.02元和4.75元，目前股价对应2024-26年PE分别为43倍、34倍和29倍，2024年PS预计约10倍，给与买进的评级。